| 論文委員 |
柴田 英毅 |
(株)東芝 |
| 論文委員 |
清水 紀嘉 |
(株)フィルテック |
| 論文委員 |
関口 学 |
JSR(株) |
| 論文委員 |
武山 真弓 |
北見工業大学 |
| 論文委員 |
中塚 理 |
名古屋大学大学院 |
| 論文委員 |
根本 剛直 |
東京エレクトロン技術研究所(株） |
| 論文委員 |
秦 信宏 |
産業技術総合研究所 |
| 論文委員 |
福山 俊一 |
富士通セミコンダクター(株) |
| 論文委員 |
山田 洋平 |
(株)日立ハイテクノロジーズ |
| 論文委員 |
横川 慎二 |
ルネサスエレクトロニクス(株) |
| Tutorial委員 |
下山 展弘 |
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 |
| Tutorial委員 |
奥谷 謙 |
次世代半導体材料技術研究組合 |
| Tutorial委員 |
樋爪 俊一 |
ラムリサーチ(株） |
| Tutorial委員 |
土屋 泰章 |
ルネサスエレクトロニクス(株) |
| Tutorial委員 |
中田 勉 |
(株)荏原製作所 |
| 総務委員 |
杉山 正和 |
東京大学 |
| 総務委員 |
天野倉 仁 |
日立化成工業(株) |
| 総務委員 |
牧野 修仁 |
JX日鉱日石金属(株) |
| 財務委員 |
高橋 新吾 |
ソニー(株) |
| 広報委員 |
Daniel L. Diehl |
Applied Materials Japan |
| 広報委員 |
嶋津 正 |
三菱重工業(株) |
| 広報委員 |
樋口 靖 |
(株)アルバック |
| 広報委員 |
松木 信雄 |
キヤノンアネルバ(株) |
| 広報（論文）委員 |
齊藤 丈靖 |
大阪府立大学 |
| 広報（論文）委員 |
多田 宗弘 |
LEAP |
| 現地／総務委員 |
井上 純哉 |
東京大学 |
| 広報委員海外 |
野上 毅 |
IBM Corporation |
| 広報委員海外 |
Chih-Chien Liu |
United Microelectronics Corp. |
| 広報委員海外 |
Gi-Heyun Choi |
Samsung |
| 広報委員海外 |
Hyungjun Kim |
Yonsei University |
| 広報委員海外 |
Jin-Goo Park |
Hanyang University |
| 広報委員海外 |
Lih J. Chen |
National Tsing Hua University |
| 広報委員海外 |
Rakesh Kumar |
A*STAR Institute of Microelectronics |
| 広報委員海外 |
Winston S. Shue |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,
Ltd. |
| 広報委員海外 |
Young-Chang Joo |
Seoul National University |
| 広報委員海外 |
Tzu Kun Ku |
ITRI (Industrial Technology Research Institute) |
| 広報委員海外 |
Young-Bae Park |
Andong National University |
